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Sputtering by Particle Bombardment I, Softcover reprint of the original 1st ed. 1981 Physical Sputtering of Single-Element Solids Coll. Topics in Applied Physics, Vol. 47

Langue : Français

Coordonnateur : Behrisch R.

Couverture de l’ouvrage Sputtering by Particle Bombardment I

Résumé
Sommaire

With contributions by numerous experts

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.