Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces Traité EGEM, série Microsystèmes
Langue : Français
Coordonnateur : de LABACHELERIE Michel
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la
photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en
couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des
microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La
photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de
caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des
exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux
ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi
d'appréhender les limites de ces technologies.
Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De
Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V.
Conédéra. Les dépôts en couches minces -W.
Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux
microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P.
Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P.
Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P.
Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L.
Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques
de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs
microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.
Date de parution : 05-2004
Ouvrage de 326 p.
16x24 cm
Retiré de la vente
105,00 €
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