Lavoisier S.A.S.
14 rue de Provigny
94236 Cachan cedex
FRANCE

Heures d'ouverture 08h30-12h30/13h30-17h30
Tél.: +33 (0)1 47 40 67 00
Fax: +33 (0)1 47 40 67 02


Url canonique : www.lavoisier.fr/livre/physique/techniques-de-fabrication-des-microsystemes-1-structures-et-microsystemes-electromecaniques-en-couches-minces/de-labachelerie/descriptif-9782746208179
Url courte ou permalien : www.lavoisier.fr/livre/notice.asp?ouvrage=2137964

Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces Traité EGEM, série Microsystèmes

Langue : Français

Coordonnateur : de LABACHELERIE Michel

Couverture de l’ouvrage Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.
Introduction : le panorama des techniques de microfabrication -M. De Labachelerie. Les techniques de photolithographie -N. Fabre, V. Conédéra. Les dépôts en couches minces -W. Daniau, L. Robert. Dépôts en phase liquide : application aux microtechniques -S. Basrour. Dépôts de polymères -P. Jolinat. La gravure humide des couches minces -J.-P. Gilles, J.-P. Grandchamp. La gravure sèche des couches minces -J.-P. Grandchamp, J.-P. Gilles. Procédés d'usinage de surface sur silicium -L. Buchaillot, D. Collard, V. Agache, O. Millet. Méthodes et techniques de caractérisation mécanique des couches minces et des dispositifs microélectromécaniques -A. Bosseboeuf, M. Dupeux. Index.

Date de parution :

Ouvrage de 326 p.

16x24 cm

En stock : expédition en 24h !

105,00 €

Ajouter au panier
PDF 105,00 €
Télécharger
En continuant à naviguer, vous autorisez Lavoisier à déposer des cookies à des fins de mesure d'audience. Pour en savoir plus et paramétrer les cookies, rendez-vous sur la page Confidentialité & Sécurité.
FERMER