Nano et Micro Technologies Vol.1 N° 2/ 2000

Optimization of Pb (Zrx, Ti1-x) 03 films for MEMS applications. Optimisation de films de Pb (Zrx, Ti1-x) 03 pour des applications MEMS. Stéréolithographie pour la fabrication de composites céramiques piézoélectriques. Stereolithography of piezoelectric PZT polymer composites. Propriétés mécaniques du nickel utilisé en LIGA-X et UV. Mechanical properties of nickel used in LIGA technique. Micromanipulation par adhésion. Modélisation dynamique et expérimentations. Micromanipulation by adhesion. Dynamic modeling and experiments. Micronanomanipulation à distance avec rétroaction visuelle et tactile sous MEB par utilisation d'un levier d'AFM piézorésistif. Remote controlled micro-nano-manipulation with visual and force feedbacks using a piezoresistive cantilever.