Thin film deposition and applications

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Langue : Anglais
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Date de parution :
Ouvrage 616 p. · 22.9x15.5 cm · Relié
Thin Film Technology. Gas Kinetics. Vacuum Technology. Evaporation. Deposition. Epitaxy. Chemical Vapor Deposition. High-Energy Techniques. Plasma Processes. Film Characterization.