La nanolithographie (série Électronique et microélectronique, EGEM)

Alors que le nano-monde s'ouvre à nous, les chercheurs ont disposés ces dernières années d'un magnifique terrain de jeu pour mettre au point de nouvelles technologies destinées à façonner cet espace des nanos.
Au delà des défis scientifiques quelles représentent, elles apparaissent comme indispensables pour transposer la miniaturisation opérée pour la micro-électronique dans d'autres champs applicatifs, laissant entrevoir l'émergence de nouvelles fonctionnalités. Bien plus qu'un recueil d'articles, cet ouvrage sur La nanolithographie, aborde aussi bien les principes physiques que les enjeux techniques et scientifiques de ces principales approches alternatives de nanolithographie.
Destinés aux ingénieurs et chercheurs novices, La nanolithographie, permettra également aux lecteurs plus expérimentés de parfaire leurs connaissances sur des technologies ayant un potentiel bien plus vaste que l'expérience de laboratoire.

Préface. Les imagiciens. L'alchimie de la représentation des origines à la nanosphère. Introduction. Enjeux de la lithographie. Chapitre 1. Lithographie par rayons X : fondamentaux et applications. Chapitre 2. Lithographie par nano-impression. Chapitre 3. Techniques lithographiques par microscopie à sonde locale. Chapitre 4. Lithographie et manipulation basées sur l'optique des nanostructures métalliques. Chapitre 5. Transfert de motifs par des procédés d'auto-assemblage. Chapitre 6. Métrologie pour la lithographie. Index.